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MX63半导体与平板显示器检测

产品型号:MX63半导体与平板显示器检测

让您的大尺寸样品检测流程更加顺畅
MX63和MX63L显微镜系统特别适合尺寸最大300毫米的晶圆、平板显示器、电路板、以及其他大尺寸样品的高质量检测。其采用的模块化设计可让您根据需要选择组件,获得根据应用定制的系统。
这两款符合人体工学设计且人性化的显微镜有助于在提高工作效率的同时保持检测者的工作舒适性。在与奥林巴斯Stream图像分析软件结合使用情况下,可以简化从观察到报告生成的整体工作流。
先进的分析工具
MX63系列的各种观察功能可生成清晰锐利的图像,让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测结果提供更多选择。
从不可见到可见:MIX观察与图像采集
通过将暗场与诸如明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用,MIX观察技术能够获得独有的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以看到的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有在指定时间仅使用四分之一象限的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕,对于样品表面纹理的可视化非常有用。

  • 产品简介
功能性:适合所有晶园尺寸
特别适用于半导体、平板显示、印制电路板等行业的大尺寸样品检测。MX63可用于大晶圆
直径200mm,MX63L可用于大晶圆直径300mm。此外,新显微镜还可以选配晶园搬送机,实现

可靠、安全、高效的对晶圆正面和背面进行检测。

新MX63/MX63L显微镜配备了高强度白光LED光源,兼顾低功耗和长寿命的优点,而且其稳定的色温

为可靠的图像质量和精确的色彩复现提供了保障。

新MX63/MX63L显微镜是该系列支持奥林巴斯MIX照明功能的产品,由此进一步提升了该显微
镜的观察能力。MIX可将暗场与明场、荧光或偏振等其他观察方法结合使用。在很多应用中,
MIX能够帮助用户观察到使用传统显微镜难以看到的缺陷。

利用HDR采集明亮区域和暗光区域
利用先进的图像处理技术,高动态范围(HDR)可在图像内调整亮度差异,以减少眩光。HDR改善
了数字图像的视觉品质,从而有助于生成具有专业级的报告。


利用光强管理器和自动孔径控制实现快速观察
对于常规显微镜,使用者每次观察都需要调整光强度和孔径。MX63系列让使用者能够针对不同
的倍率和观察方法设定光强和孔径条件。这些能够轻松调用的设置即可帮助使用者节省时间又
可获得优良的图像质量。


从基本测量到高级分析
测量对于品质、工艺控制和检测非常重要。基于这一想法,即便入门级奥林巴斯Stream软件包
也包括交互测量功能的全部菜单,并且所有测量结果与图像文件一起保存以便日后调用文档。
此外,奥林巴斯Stream材料解决方案可为复杂图像分析提供直观的工作流界面。点击按钮,图
像分析任务即可快速精准完成。可大幅度缩减重复性任务的处理时间,使操作人员的精力集中
在检测工作上。

让您的大尺寸样品检测流程更加顺畅
MX63和MX63L显微镜系统特别适合尺寸最大300毫米的晶圆、平板显示器、电路板、以及其他大尺寸样品的高质量检测。其采用的模块化设计可让您根据需要选择组件,获得根据应用定制的系统。
这两款符合人体工学设计且人性化的显微镜有助于在提高工作效率的同时保持检测者的工作舒适性。在与奥林巴斯Stream图像分析软件结合使用情况下,可以简化从观察到报告生成的整体工作流。
先进的分析工具
MX63系列的各种观察功能可生成清晰锐利的图像,让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测结果提供更多选择。
从不可见到可见:MIX观察与图像采集
通过将暗场与诸如明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用,MIX观察技术能够获得独有的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以看到的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有在指定时间仅使用四分之一象限的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕,对于样品表面纹理的可视化非常有用。


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